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次世代の工業製品開発には、ナノ計測、ナノ加工技術の進捗が不可欠であり、産業界では最優先課題となっています。計測加工手段としては、電子、イオン、探針などをプローブに用いた方法が研究開発されていますが、特に分解能の限界や計測加工が難しい材料を中心にご研究されている講師の方々に最先端技術をご紹介いただき、次世代ナノテクを含めた技術展望を学び議論したいと考えています。たくさんの方々のご参加をお待ちしております。
【プログラム】
①「電子顕微鏡の最新計測技術（仮題）」
高柳 邦夫（東京工業大学）
②「プローブ顕微鏡による液中原子・分子スケールイメージングおよび固液界面評価の最前線」
山田 啓文（京都大学）
③「三次元中エネルギーイオン散乱装置を用いた軽・重元素の分析」
小林 峰（理化学研究所）
④「３次元アトムプローブによるナノスケールデバイス計測」
（東北大学）
⑤「電子線描画法および自己組織化法を用いた3Tbit/in2超高密度記録ビット列形成」
保坂 純男（群馬大学）
⑥「集束イオンビームによる超微細加工とその応用」
松井 真二（兵庫県立大学）
⑦「原子間力顕微鏡を用いた室温元素識別・原子操作」
森田 清三（大阪大学）
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