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半導体微細加工技術やナノ材料等を基礎とする MEMS (Micro Electro Mechanical System)，NEMS(Nano Electro Mechanical System) 技術は近年，目覚ましい発展をとげており，工業や医療などの分野でマイクロアクチュエーター，スイッチ，センサーなどの各種素子に応用されています．最近では，様々な物質を対象とした超高感度センサーへの展開も注目されています．そこで，本研究例会では， MEMS/NEMSを用いた超高感度センサー技術について，第一線で活躍されている研究者の皆様をお招きし，最新の成果と今後の展望についてご講演いただきます．
【演 題】
①
「ナノエレクトロメカニカルシステム（NEMS) のセンサー応用」
石原直（東京大学）
②「カーボンナノチューブ機械共振器のセンサー応用」
秋田成司（大阪府立大学）
③「液中原子間力顕微鏡ならびに超高真空TEM・AFM，FIM・AFM」
川勝英樹，小林大，西田周平，西澤英伸（東京大学）
④「生体ナノ力学計測によるタンパク質・細胞構造の新解釈」
猪飼篤（生体分子計測研究所）
⑤「MEMSによる光センシング ―光ファイバー内視鏡への応用―」
年吉洋（東京大学）
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